针对荷兰ASML公司推迟出货EUV光刻机的报道，中芯世界刚刚也作出了回应，称极紫外光（EUV）还在纸面作业阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研制发展顺畅。现在，研制与出产的连接一切正常。客户与设备导入正常运作。
早些时候ASML也弄清称，关于日经新闻（NIKKEI）有关中芯世界相关报道有误，推迟出货仅为其媒体估测，ASML从未谈论或承认，对其将估测直接定性为现实作为新闻标题并在文中论述，表明反对。
ASML表明，对全球客户天公地道。依据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到我国需获得荷兰政府的出口答应（export license）。该出口答应于本年到期，ASML现已于到期前从头进行请求，现在正在等候荷兰政府核准。
据了解，中芯世界现在量产的最早进制程为14nm，12nm现已获得重大突破。而EUV光刻机首要用在7nm及以下制程。
